药液清洗单元
纯水擦洗洗涤装置
热水提升干燥装置
– 国内专用-
Easy Clean由三个基本单元组成。根据客户的洗涤用途，可以自由选择每个单元的组合。也可以单独提供。
清洗装置
盒式清洗装置
TCC-803 - 国内专用-
光掩膜清洗装置
TWE-200
TW-300
TW-700
TW-1000 - 国内专用-
TWC-302 - 国内专用-
全自动光掩膜清洗装置 - 国内专用-
TWC-200A - 国内专用-
TWC-304A - 国内专用-
単元式简易清洗装置 Easy Clean - 国内专用-
型号EC-chemicalCLINs清洗单元 - 国内专用-
型号EC-scrub纯水擦洗清洗装置 - 国内专用-
型号EC-dry热水提拉干燥装置 - 国内专用-
药液
超级清洗加热器 - 国内专用-
超纯水用QH系列 - 国内专用-
QH系列
洁净干气用SH系列 - 国内专用-
SH系列
简易型温度控制器 - 国内专用-
TC-2030
紫外线臭氧(UV臭氧)清洗装置
UV-208
UV-312
晶圆贴片机/贴膜机
手动型贴片机
FM-224系列
半自动型贴片机
FM-3343
FM-903S
FM-664系列
晶片扩张装置
TEX-21系列
TEX-220
EX-300 - 国内专用-
扩晶环
扩晶环框架盒
扩晶环单片盒
UV照射装置
LED灯源规格
UVC-200/300
UVC-200A/300A - 国内专用-
UVC-708
高压汞灯规格
UVC-408
UVC-512
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